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第一六四章 KrF 248nm紫外光刻机（第1页）

“岸然，这事我必须当面和你说清楚，这七套设备虽然都是1。5微米制造工艺，不过其中有四台，和其他的有些区别。”

王岸然一下来了兴致。

“有什么不一样？”

“有三台使用的是高压汞灯i线365纳米光源，而另外四台……”

“张教授，你倒是说啊！”

张大京嘴角带着笑，指着王岸然说道：“岸然，我一直以为你比别的年轻人沉得住气，现在看来，只是没找到你感兴趣的东西啊！”

王岸然白了张大京一眼，说道：“张教授，你再不说，我可要翻脸了啊！”

“好！好！”张大京摇摇头，说道：“岸然，有四台使用的是krf248纳米准分子激光光源。”

额，王岸然感觉呼吸都有些急促，krf准分子激光光源有两种波长，一种是248纳米，另外一种就是193纳米。

这跟高压汞灯光源不一样的是，高压汞灯光源还属于可见光，而krf准分子激光已经迈入紫外线的范畴。

虽然国内早已经开始了krf准分子激光的研究，而且取得了相应的成果，不过适用于光刻的248纳米光源，要求的是百焦级别的高功率，以及粒子均匀性要在千分之零点三的范围内。

门槛就在这里。

事实上，ibm早在1980年就将krf准分子激光光源用于半导体光刻，而十五年过后，对国内来说，还是一道深不可测的技术门槛。

没想到，这玩意竟然被张大京搞来了……

王黯然忙问道：“张教授，我记得激光光源是瓦森纳协议中禁止贸易的，你怎么……？”

“岸然，你错了，瓦森纳协议中限制出口的列表，今年没有把248纳米krf列入其中。

不过需要说明的是，这款激光器是不可以用作军事用途的，所以，他们会派人监管，并定期检查的。”

自己的消息还是滞后了啊！

王岸然摇摇头，如果248纳米光刻机解除禁运的话，国外已经在193纳米光刻机的应用上有了长足的进步，甚至在深紫光上有了突破。

原因很简单，瓦森纳协议的核心就是n-2政策，西方审批出口的依据就是，对华出口的设备必须是落后两代。

而实际上，审批程序很复杂，等真拿到设备的时候，差不多已经是第三代的了，基本上比起国际主流的技术要落后10年左右。

这也没办法，王岸然喝了一口水，他想到一件事，忙问道：“张教授，这条芯片生产线，可以……”

张大京打断王岸然的话，说道：“岸然，这是我另外要说的一件事，248纳米激光光源光刻机，可以经过改造，用于1微米制程的芯片生产，不过，涉及一系列复杂的光学曝光技术，这些专利是要折算成资金入股的！”

这个王岸然没有意见，如果能改造成沉浸式光刻机，320纳米制程都没问题。

张大京拿出一份文件递给王岸然。

“股权结构？”

张大京点点头。

王岸然翻开一看，愣住了。

7亿美金只占了35%的股份，张大京团队以技术入股，占15%的股份，张大京自领5%的干股，后面跟着一大串投资人。